PBT-650晶元二流体清洗机
设备特点:
- 可更换清洗吸盘,可使用4-12英寸的清洗吸盘;
- 操作程序可按作业需求编写调整,设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制;
- 设备运行状态及参数在线实时监控,自动门配有安全光栅,保证操作安全;
- 采用真空吸附式清洗盘,晶元夹具的取放更安全、方便;
- 摆臂式清洗,清洗范围可编制,适用范围广、无清洗盲区、无二次污染,清洗效果更佳;
- 设备清洗室全密封,且配有自动挡水圈,有效防止二次污染;
- 高速离心设计,转速可调节100-2000R/Min;
- 配备独特的静电消除装置,辅助清洗达到最佳效果,可选择使用氮气;
- 设备配有大面积透明观察窗;
- 缩减宽度的省空间设计,结构紧凑,占用空间小;
- 整机镜面不锈钢机身,能耐酸碱,对工作环境无污染,镜面机壳易于保养。
清洗工艺:
放入物料 ---- 一键清洗开始,安全门自动关闭 ---- 二流体清洗 --- 离心脱水(去静电离子风与加热腔体辅助干燥) --- 清洗完毕 --- 报警提示 --- 玻璃门自动打开。
采用高速离心设计,主要使用于4-12英寸的硅晶圆片的精密清洗;搭配二流体清洗、静电消除/氮气、高速离心等装置,使被清洗件达到干燥、洁净的目的。
应用领域:
主要用于高端晶元灰尘的清洗,如下图:
技术参数:
设备外观尺寸 |
700mm(L)×650mm(W)×1100mm(H) |
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清洗盘规格 |
4-12英寸(可选) |
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清洗盘尺寸 |
定制 |
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纯水入口径 |
外径Ø8mm纯水软管 |
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排水出口径 |
3/4″软管 |
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气源入口径 |
Ø12mm PU气管 |
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排风口口径 |
2.5″皮管接头(75mm外径) |
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电源供应 |
AC220V; 50HZ ;5A |
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总功率 |
1.5KW |
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耗电量 |
清洗时: 1.5kw/h |
待机时: 0.5kw/h |
气源供应 |
0.45-0.7Mpa |
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DI水供应 |
>0.35Mpa |
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清洗压力 |
3.8-8Kgf/cm² |
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离心转速 |
100-2000R/Min |
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传动马力 |
1HP |
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纯水消耗量 |
0-1000ML/Min |
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气体消耗量 |
200-500L/Min |
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空气过滤方式 |
一级0.01μm除油过滤器;二级0.01μm精密过滤器 |
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环境过滤方式 |
0.3μm;99.99% |
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机器净重 |
约200KG |
博易盛专注于清洗设备的研发与制造,将做好每一台清洗设备为己任,为客户提供优质产品为目标。博易盛已开发产品有:全气动网板清洗机、全自动水基网板清洗机、全自动PCBA在线型清洗机、全自动PCBA离线型清洗机、全自动毛刷清洗机、全自动治具清洗机、全自动吸嘴清洗机、全自动摄相头模组清洗机、全自动晶圆清洗机等系列清洗设备;涉及领域:SMT 、PCB 、CCM 、半导体、印刷 光学玻璃、精密五金、 柔性PCB、模块PCB、主机板PCB等领域的产品清洗。